Substratreinigungselement und Substratreinigungsvorrichtung

EP3636356 Art B1 18. Dezember 2024

Anmelder: EBARA CORPORATION, Ebara Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3636356
Aktenzeichen
EP19202831
Anmeldetag
11. Oktober 2019
Veröffentlichung
18. Dezember 2024
Erteilung
18. Dezember 2024
Rechtsraum
EP
IPC
B08B1/32H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
EBARA CORPORATION
Ebara Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik
Vertreten von
Emde, Eric Wagner & Geyer München, Deutschland
1.866
Patente gesamt
32
Fachgebiete
15
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Nachrichtentechnik & Telekommunikation Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Akustik, Musik & Datenspeicherung Elektronik & Schaltungstechnik
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Kanzlei
Wagner & Geyer München, Deutschland

Wagner & Geyer wurde 1972 von Karl H. Wagner in München gegründet und fusionierte 1983 mit Dr. Ulrich F. Geyer. Neben Patenten begleitet die Kanzlei Designs, Gebrauchsmuster und Marken im internationalen Partnernetzwerk und berät traditionell eng mit japanischen Mandanten auf Deutsch, Englisch und Japanisch.

12.074
Patente gesamt
6
Patentanwälte
1
Standorte

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