Anreicherung und Radioisotopproduktion

EP3637436 Art A1 15. April 2020

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3637436
Aktenzeichen
EP18200179
Anmeldetag
12. Oktober 2018
Veröffentlichung
15. April 2020
Rechtsraum
EP
IPC
G21G1/12B01D59/48
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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