Pellikel und Pellikelanordnung
EP3639091
Art A2
22. April 2020
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3639091
- Aktenzeichen
- EP18728409
- Anmeldetag
- 8. Juni 2018
- Veröffentlichung
- 22. April 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/62G03F1/64
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Filip, Diana
Veldhoven, Niederlande
14
Patente gesamt
3
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven