Durchlässiger Diffusor
EP3640734
Art A1
22. April 2020
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3640734
- Aktenzeichen
- EP18200620
- Anmeldetag
- 16. Oktober 2018
- Veröffentlichung
- 22. April 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B5/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
Slenders, Petrus Johannes Waltherus
Eindhoven, Niederlande
244
Patente gesamt
17
Fachgebiete
2
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ASML Netherlands B.V · Veldhoven