Verfahren zur Bestimmung der Entfernung zwischen Zwei Teilstrahlen bei einer Multi-Beamlet-Belichtungsvorrichtung
EP3640968
Art B1
12. Juni 2024
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3640968
- Aktenzeichen
- EP19214475
- Anmeldetag
- 14. November 2011
- Veröffentlichung
- 12. Juni 2024
- Erteilung
- 12. Juni 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/22H01J37/244H01J37/317H01J37/04H01J37/304B82Y10/00B82Y40/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
Corcoran, Gregory Martin Mason
Veldhoven, Niederlande
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ASML Netherlands B.V · Veldhoven