Verfahren für Selbstbildende Barriere
EP3646368
Art A1
6. Mai 2020
Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3646368
- Aktenzeichen
- EP18823006
- Anmeldetag
- 26. Juni 2018
- Veröffentlichung
- 6. Mai 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L21/768C23C18/50C25D5/50C23C14/00C23C18/16H01L21/288H01L23/522H01L23/532C23C18/48// C25D3/58
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Mewburn Ellis LLP
Mewburn Ellis LLP · München