Fehlererkennung auf Transparenten oder Transluzenten Wafern
EP3646372
Art B1
1. Oktober 2025
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3646372
- Aktenzeichen
- EP18848116
- Anmeldetag
- 23. August 2018
- Veröffentlichung
- 1. Oktober 2025
- Erteilung
- 1. Oktober 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66G03F7/20G06T7/00G01N21/88G01N21/958
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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