Unterdrückung der Sin-Entfernungsraten und Reduzierung des Oxid-Trench-Dishing für Prozess der Flachgrabenisolation (sti)

EP3647384 Art B1 12. Juni 2024

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3647384
Aktenzeichen: EP19206672
Anmeldetag: 31. Oktober 2019
Veröffentlichung: 12. Juni 2024
Erteilung: 12. Juni 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C09G1/02C09K3/14H01L21/3105

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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