Manipulatorvorrichtung zum Manipulieren eines oder mehrerer Bündel Geladener Teilchen und System für Geladene Teilchen Dieselbe enthaltend
EP3648114
Art B1
9. April 2025
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3648114
- Aktenzeichen
- EP19212852
- Anmeldetag
- 26. April 2012
- Veröffentlichung
- 9. April 2025
- Erteilung
- 9. April 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G21K1/087H01J37/317G03F7/20H01J29/46H01J37/09
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Corcoran, Gregory Martin Mason
Veldhoven, Niederlande
102
Patente gesamt
7
Fachgebiete
1
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven