Substratpositionierungsvorrichtung und Substratpositionierungsverfahren
EP3648153
Art B1
4. Januar 2023
Anmelder: TOSHIBA MITSUBISHI-ELECTRIC INDUSTRIAL SYSTEMS CORPORATION, Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3648153
- Aktenzeichen
- EP17916094
- Anmeldetag
- 30. Juni 2017
- Veröffentlichung
- 4. Januar 2023
- Erteilung
- 4. Januar 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L31/0224H01L21/68
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOSHIBA MITSUBISHI-ELECTRIC INDUSTRIAL SYSTEMS CORPORATION
Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation
Japanisches Gemeinschaftsunternehmen von Toshiba und Mitsubishi Electric für industrielle Antriebssysteme, Motoren und Automatisierungstechnik.
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