Verfahren zum Entfernen einer Kontaminationsschicht durch ein Atomlagenätzverfahren

EP3649510 Art A1 13. Mai 2020

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3649510
Aktenzeichen: EP18737868
Anmeldetag: 3. Juli 2018
Veröffentlichung: 13. Mai 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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