Vorhersage eines Wertes eines Halbleiterherstellungsverfahrensparameters
EP3650939
Art A1
13. Mai 2020
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3650939
- Aktenzeichen
- EP18204882
- Anmeldetag
- 7. November 2018
- Veröffentlichung
- 13. Mai 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G05B13/02H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Peters, John Antoine
Veldhoven, Niederlande
167
Patente gesamt
11
Fachgebiete
1
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven