Strahlungsgitterlayout

EP3651183 Art B1 17. April 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3651183
Aktenzeichen
EP19214148
Anmeldetag
5. Mai 2014
Veröffentlichung
17. April 2024
Erteilung
17. April 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/317H01J37/09
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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