Verfahren zum Kontaktieren einer Vergrabenen Leiterbahnschiene von der Rückseite einer Integrierten Schaltung

EP3651188 Art B1 19. Mai 2021

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3651188
Aktenzeichen: EP18205606
Anmeldetag: 12. November 2018
Veröffentlichung: 19. Mai 2021
Erteilung: 19. Mai 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/768H01L23/48H01L23/528H01L21/74

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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