Spannungssensor zur Messung von Mechanischer Spannung in einer Geschichteten Metallisierungsstruktur einer Mikroelektronischen Komponente

EP3651208 Art B1 23. Februar 2022

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3651208
Aktenzeichen: EP18205087
Anmeldetag: 8. November 2018
Veröffentlichung: 23. Februar 2022
Erteilung: 23. Februar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L29/786G01L1/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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