Vakuumpumpe
EP3653884
Art B1
8. Dezember 2021
Anmelder: PFEIFFER VACUUM GMBH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3653884
- Aktenzeichen
- EP19202987
- Anmeldetag
- 14. Oktober 2019
- Veröffentlichung
- 8. Dezember 2021
- Erteilung
- 8. Dezember 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D19/04F04D29/059F04D29/66
Abstract
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, umfassend eine Primärstruktur, welche im Betrieb der Pumpe vibriert, und eine Dämpfungseinrichtung zur Dämpfung der Vibration der Primärstruktur, wobei die Dämpfungseinrichtung eine Dämpfungsmasse aufweist, welche mittels eines Federelements mit der Primärstruktur verbunden ist.
Anmelder
- Firma
- PFEIFFER VACUUM GMBH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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