Verfahren zur Herstellung eines Integrierten Schaltkreises mit Luftspalten und Zugehöriger Integrierter Schaltkreis

EP3654372 Art B1 21. April 2021

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3654372
Aktenzeichen: EP18205965
Anmeldetag: 13. November 2018
Veröffentlichung: 21. April 2021
Erteilung: 21. April 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L23/522H01L23/532H01L21/768H01L29/49

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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