Umwandlung einer Ventilmetallschicht in eine Schablone mit mehreren Beabstandeten (nano)kanälen und Bildung von Beabstandeten Strukturen Darin

EP3655570 Art A1 27. Mai 2020

Anmelder: IMEC VZW, Katholieke Universiteit Leuven 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3655570
Aktenzeichen
EP18735609
Anmeldetag
10. Juli 2018
Veröffentlichung
27. Mai 2020
Rechtsraum
EP
IPC
C25D11/04C25D11/10C25D11/12C23F1/00C25D1/00C25D3/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC VZW
Katholieke Universiteit Leuven
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

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