Auswertungstool für Steuerungsstrategie eines Halbleiterherstellungsprozesses und dessen Benutzeroberfläche
EP3657281
Art B1
30. November 2022
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3657281
- Aktenzeichen
- EP19204347
- Anmeldetag
- 21. Oktober 2019
- Veröffentlichung
- 30. November 2022
- Erteilung
- 30. November 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05B19/409G05B19/418
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Peters, John Antoine
Veldhoven, Niederlande
167
Patente gesamt
11
Fachgebiete
1
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven