Systeme und Verfahren zur Kompensation der Dispersion eines Strahltrenners in einem Mehrstrahlgerät
EP3659172
Art A1
3. Juni 2020
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3659172
- Aktenzeichen
- EP18740812
- Anmeldetag
- 12. Juli 2018
- Veröffentlichung
- 3. Juni 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/05H01J37/147H01J37/28H01J37/244
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Peters, John Antoine
Veldhoven, Niederlande
167
Patente gesamt
11
Fachgebiete
1
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Schwerpunkte
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ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven