Epitaktisch Beschichtete Halbleiterscheibe aus Einkristallinem Silizium und Verfahren zu deren Herstellung
EP3659173
Art A1
3. Juni 2020
Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3659173
- Aktenzeichen
- EP18740798
- Anmeldetag
- 12. Juli 2018
- Veröffentlichung
- 3. Juni 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02C30B25/10C23C16/46C23C16/48
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Siltronic AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Siltronic
Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.
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