Elektro-Oxidativer Metallabtrag in der Through-Mask-Verbindungsherstellung
EP3659176
Art A1
3. Juni 2020
Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3659176
- Aktenzeichen
- EP18838733
- Anmeldetag
- 23. Juli 2018
- Veröffentlichung
- 3. Juni 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C25F3/14C25F3/02C25F3/22C25F7/00H01L21/768
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lam Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Mewburn Ellis LLP
Mewburn Ellis LLP · München