Lanthan Vorläuferverbindungen für die Gasphasenabscheidung mit Niedrigem Gehalt an Halogenhaltigen Verunreinigungen

EP3659687 Art A3 19. August 2020

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3659687
Aktenzeichen: EP19211947
Anmeldetag: 27. November 2019
Veröffentlichung: 19. August 2020
Rechtsraum: EP
IPC: B01D7/00C23C16/455C07C257/10H01L21/02C07B63/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie Verfahrens- & Trenntechnik

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