Struktur zur Verwendung in einem Metallisolator-Metallkondensator

EP3660933 Art A1 3. Juni 2020

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3660933
Aktenzeichen: EP18209406
Anmeldetag: 30. November 2018
Veröffentlichung: 3. Juni 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L49/02C07F15/00C23C16/40H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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