Gleichzeitige Doppelbeschichtung eines Graphen-Mehrschichtpellikels durch Lokale Wärmebehandlung
EP3662324
Art B1
6. Dezember 2023
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3662324
- Aktenzeichen
- EP18733610
- Anmeldetag
- 26. Juni 2018
- Veröffentlichung
- 6. Dezember 2023
- Erteilung
- 6. Dezember 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/62G03F1/24G03F7/20G02B27/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
Filip, Diana
Veldhoven, Niederlande
14
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3
Fachgebiete
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Weitere Vertreter
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ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven