Elektronenstrahlvorrichtung mit Hohen Auflösungen

EP3662326 Art A1 10. Juni 2020

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3662326
Aktenzeichen
EP18842135
Anmeldetag
24. Juli 2018
Veröffentlichung
10. Juni 2020
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G03F1/20H01J37/145H01J37/067H01J37/063H01J37/073
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Kla-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen