Durch Plasmaverstärkte Chemische Gasphasenabscheidung Hergestelltes Ein- und Mehrlagiges Silicen

EP3662505 Art B1 18. Oktober 2023

Anmelder: The Government of the United States of America, as represented by the Secretary of the Navy 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3662505
Aktenzeichen: EP18841255
Anmeldetag: 12. Juli 2018
Veröffentlichung: 18. Oktober 2023
Erteilung: 18. Oktober 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/324C23C16/455C30B25/10C30B25/18C30B29/06C30B29/60H01L21/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Government of the United States of America, as represented by the Secretary of the Navy
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 The Government of the United States of America As Represented By the Secretary of the Navy

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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