Borhaltige Verbindungen, Zusammensetzungen und Verfahren zur Abscheidung von Borhaltigen Filmen

EP3663301 Art B1 30. August 2023

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3663301
Aktenzeichen: EP20154718
Anmeldetag: 29. März 2016
Veröffentlichung: 30. August 2023
Erteilung: 30. August 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/34C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von