Sem-Fov-Fingerabdruck in Stochastischen Epe und Positionsmessungen in Grossen Fov-Sem-Vorrichtungen
EP3663855
Art A1
10. Juni 2020
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3663855
- Aktenzeichen
- EP18210026
- Anmeldetag
- 4. Dezember 2018
- Veröffentlichung
- 10. Juni 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Vertreten von
Peters, John Antoine
Veldhoven, Niederlande
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