Vakuumkühlvorrichtung, Ionenstrahlätzvorrichtung und Betriebsverfahren

EP3664120 Art B1 7. Februar 2024

Anmelder: JEOL Ltd., Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3664120
Aktenzeichen: EP19213474
Anmeldetag: 4. Dezember 2019
Veröffentlichung: 7. Februar 2024
Erteilung: 7. Februar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/18H01J37/20H01J37/305

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: JEOL Ltd.
Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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