Element zur Blockierung Geladener Teilchen, Belichtungsapparat mit einem Solchen Element und Verfahren zur Verwendung eines Solchen Belichtungsapparates

EP3665716 Art A1 17. Juni 2020

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3665716
Aktenzeichen
EP18843031
Anmeldetag
21. Juni 2018
Veröffentlichung
17. Juni 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/09
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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