Verfahren zum Betrieb einer Optischen Vorrichtung und Optische Vorrichtung

EP3669232 Art A1 24. Juni 2020

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3669232
Aktenzeichen: EP18753079
Anmeldetag: 25. Juli 2018
Veröffentlichung: 24. Juni 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01N27/12G01N29/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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