Carl Zeiss SMT GmbH
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Standorte
1Aktuelle Patente
283 gesamt| Patent | |||
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04.02.2026 · Carl Zeiss SMT GmbH
Vorrichtung zum Positionieren und Halten Zumindest eines Optischen Elements, Messsystem
Maschinenelemente & Fluidtechnik
Optik & Fototechnik
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Zusammenfassung
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09.07.2025 · Carl Zeiss SMT GmbH
Gasvermittelte Sekundärelektronenerzeugung und Sammlungsverstärkung für Verbesserte Endpunktdetektion mit Edelionen zur Schaltungsbearbeitung in Halbleiterwafern
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Zusammenfassung
An ion beam system with increased secondary electron yield is provided. The increase of a secondary electron yield is achieved by utilizing during ion beam scanning a combination of at least two individual gases adapted to material compositions present in a semiconductor wafer or lithography mask. The improved system and method can be applied for inspection, circuit edit or repair of semiconductor wafers or lithography masks. |
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05.06.2025 · Carl Zeiss MultiSEM GmbH
Verfahren zum Herstellen einer Mikrooptik für ein Vielzahl-Teilchenstrahlsystem, Mikrooptik und Vielzahl-Teilchenstrahlsystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Zusammenfassung
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08.05.2025 · Carl Zeiss SMT GmbH
Compensation of operationally induced thermal deformations in the manufacturing process of an optical element under thermal control during operation
Kunststoff- & Polymertechnik
Optik & Fototechnik
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Zusammenfassung
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17.04.2025 · CARL ZEISS SMT GMBH
Mikrolithografische Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
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Zusammenfassung
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03.04.2025 · Carl Zeiss MultiSEM GmbH
Method for operating a multiple particle beam system, calibration method for a multiple particle beam system, computer program product and multiple particle beam system with increased performance
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Zusammenfassung
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03.04.2025 · Carl Zeiss SMT GmbH
High-resolution low-distortion imaging using charged-particle scanning microscope
Software & Datenverarbeitung
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03.04.2025 · CARL ZEISS SMT GMBH
Mikro-Elektro-Mechanisches System mit Fixierung
Optik & Fototechnik
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27.03.2025 · Carl Zeiss SMT GmbH
Projection Exposure Apparatus Comprising an Element Comprising an Elastic Material
Optik & Fototechnik
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13.02.2025 · Carl Zeiss SMT GmbH
Neigungsmessung in Partikelmikroskopsystemen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Vertretene Patentanmelder
Die Patentanmelder, die Carl Zeiss SMT GmbH in den erfassten Patenten am häufigsten vertritt.
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| 1. Carl Zeiss SMT | 264 |
| 2. Carl Zeiss Microscopy GmbH | 3 |
| 3. ASML | 1 |
Patente nach Jahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung: so viele Anmeldungen sind für das Jahr insgesamt zu erwarten.