Verfahren und Vorrichtung zur Ausrichtung einer Sonde zur Rastersondenmikroskopie an der Spitze einer Zugespitzten Probe

EP3671224 Art B1 8. Juni 2022

Anmelder: IMEC vzw, Katholieke Universiteit Leuven KU Leuven Research & Development 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3671224
Aktenzeichen: EP18214398
Anmeldetag: 20. Dezember 2018
Veröffentlichung: 8. Juni 2022
Erteilung: 8. Juni 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G01Q10/06G01Q60/30G01Q60/50H01J37/285

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC vzw
Katholieke Universiteit Leuven KU Leuven Research & Development
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 KU Leuven Research & Development

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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