Induzierte Belastung zur Spannung eines Euv-Pellikels

EP3671342 Art B1 17. März 2021

Anmelder: IMEC vzw, Katholieke Universiteit Leuven KU Leuven Research & Development 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3671342
Aktenzeichen: EP18214565
Anmeldetag: 20. Dezember 2018
Veröffentlichung: 17. März 2021
Erteilung: 17. März 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/62

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC vzw
Katholieke Universiteit Leuven KU Leuven Research & Development
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 KU Leuven Research & Development

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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