Si-Passivierter Ge-Gate-Stapel

EP3671813 Art A1 24. Juni 2020

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3671813
Aktenzeichen
EP18215545
Anmeldetag
21. Dezember 2018
Veröffentlichung
24. Juni 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/28H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IMEC vzw
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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