Selbstausgerichtete Kontaktloch- und -Säulenanordnungsstrukturierung

EP3671822 Art A1 24. Juni 2020

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3671822
Aktenzeichen: EP18214583
Anmeldetag: 20. Dezember 2018
Veröffentlichung: 24. Juni 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/768H01L21/033

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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