Quartzkristallmikrowaage zur Überwachung von Fertigungsprozessen und Entsprechendes Verfahren
EP3673261
Art A1
1. Juli 2020
Anmelder: Inficon, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3673261
- Aktenzeichen
- EP18848671
- Anmeldetag
- 24. August 2018
- Veröffentlichung
- 1. Juli 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N29/02G01N29/036G01N29/24C23C16/44C23C16/52G01R23/02G01R23/12G01M3/32H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Inficon, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇩🇪
Inficon
Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.
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