Ätzen Mithilfe einer Elektrolysierten Chloridlösung

EP3674442 Art A1 1. Juli 2020

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3674442
Aktenzeichen: EP18215848
Anmeldetag: 24. Dezember 2018
Veröffentlichung: 1. Juli 2020
Rechtsraum: EP
IPC: C23F1/18C23F1/26H01L21/3213

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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