Pecvd-Abscheidungssystem zur Abscheidung auf der Selektiven Seite eines Substrats
EP3676418
Art A1
8. Juli 2020
Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3676418
- Aktenzeichen
- EP18852315
- Anmeldetag
- 24. August 2018
- Veröffentlichung
- 8. Juli 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/455C23C16/505C23C16/458C23C16/44C23C16/04H01L21/02H01L21/687
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lam Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Mewburn Ellis LLP
Mewburn Ellis LLP · München