Systeme und Verfahren zur Kombination Optischer Metrologie mit Massenmetrologie
EP3679598
Art B1
20. Juli 2022
Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3679598
- Aktenzeichen
- EP18854360
- Anmeldetag
- 31. August 2018
- Veröffentlichung
- 20. Juli 2022
- Erteilung
- 20. Juli 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B11/06G06N20/10G06N20/20G06N7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Mewburn Ellis LLP
Mewburn Ellis LLP · München