Verfahren zur Entfernung eines Substrats mit einer Spaltungstechnik

EP3682465 Art A1 22. Juli 2020

Anmelder: The Regents of the University of California 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3682465
Aktenzeichen: EP18857235
Anmeldetag: 17. September 2018
Veröffentlichung: 22. Juli 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L33/00H01L33/02H01L21/02H01S5/02H01S5/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents of the University of California
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of California

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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