Vakuumpumpe

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3683447

Aktenzeichen

EP19218135

Anmeldetag

19. Dezember 2019

Veröffentlichung

24. November 2021

Erteilung

24. November 2021

Rechtsraum

EP

IPC

F04D19/04F04D29/058

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem Stator und einem im Betrieb relativ zum Stator um eine Drehachse rotierenden Rotor, zwischen denen wenigstens ein radiales Magnetlager mit bezüglich der Drehachse koaxial ineinander liegenden Paketen jeweils aus mehreren axial aufeinander folgenden Permanentmagnetringen angeordnet ist, wobei zumindest eines der Pakete axial zwischen zwei Stellabschnitten einer Stelleinrichtung eingespannt ist, und wobei sich die Stellabschnitte unter Wärmeeinfluss derart verhalten, dass eine axiale Verschiebung des Pakets resultiert.

Anmelder

Firma

Pfeiffer Vacuum GmbH

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete