Vorrichtung, Verfahren und Computerprogramm zur Bestimmung einer Position eines Elements auf einer Photolithografischen Maske
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3683822
- Aktenzeichen
- EP20152894
- Anmeldetag
- 21. Januar 2020
- Veröffentlichung
- 21. Oktober 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/26G02B21/00
Abstract
The present application relates to an apparatus (200) for determining a position of at least one element (130, 540, 940) on a photolithographic mask (110), said apparatus comprising: (a) at least one scanning particle microscope (210) comprising a first reference object (240), wherein the first reference object (240) is disposed on the scanning particle microscope (210) in such a way that the scanning particle microscope (210) can be used to determine a relative position of the at least one element (130, 540, 940) on the photolithographic mask (110) relative to the first reference object (240); and (b) at least one distance measuring device (270), which is embodied to determine a distance between the first reference object (240) and a second reference object (250), wherein there is a relationship between the second reference object (250) and the photolithographic mask (110).
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Bardehle Pagenberg wurde 1979 in München gegründet und unterhält in Paris einen Standort nahe der Opéra Garnier. Dort verbindet die Kanzlei französische Avocats mit europäischen Patentanwälten, Schwerpunkte Life Sciences, Pharma und Chemie neben Mechanik und Telekommunikation, aktiv vor dem Einheitlichen Patentgericht.