Ladungsteilchenstrahlvorrichtung sowie Systeme und Verfahren zum Betreiben der Vorrichtung
EP3685421
Art A1
29. Juli 2020
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3685421
- Aktenzeichen
- EP18769713
- Anmeldetag
- 14. September 2018
- Veröffentlichung
- 29. Juli 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/21H01J37/22H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Peters, John Antoine
Veldhoven, Niederlande
167
Patente gesamt
11
Fachgebiete
1
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven