Titansputtertarget, Herstellungsverfahren dafür und Verfahren zur Herstellung einer Titanhaltigen Dünnschicht

EP3686313 Art A1 29. Juli 2020

Anmelder: JX Nippon Mining & Metals Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3686313
Aktenzeichen: EP18859576
Anmeldetag: 13. Juli 2018
Veröffentlichung: 29. Juli 2020
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34C22F1/18C22C14/00H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JX Nippon Mining & Metals Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JX Nippon Mining & Metals

JX Nippon Mining & Metals Corporation ist ein japanisches Unternehmen der Nichteisenmetallindustrie, das Kupfer, Halbleitermaterialien und Metallverarbeitung herstellt, Teil der ENEOS-Gruppe.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von