Substratkontaminationsanalysesystem
Anmelder: Rigaku Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3686580
- Aktenzeichen
- EP18858939
- Anmeldetag
- 3. Juli 2018
- Veröffentlichung
- 7. Dezember 2022
- Erteilung
- 7. Dezember 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N1/32B01L3/02G01N23/2202G01N23/2204G01N23/223H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Rigaku Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
Rigaku ist ein japanischer Hersteller wissenschaftlicher Analysegeräte, insbesondere für Röntgendiffraktion und Röntgenfluoreszenz. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Elektrotechnik-Anmeldungen. Der Anmeldezeitraum reicht von 2000 bis 2025.
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Seit über 50 Jahren nahe dem Europäischen Patentamt in München tätig, deutscher Kern der EUROMARKPAT-Gruppe. Eigene Büros in Russland, der Ukraine und weiteren Ländern Osteuropas und Eurasiens ermöglichen direkte Vertretung ohne lokale Kanzleien.