Verfahren zur Bestimmung von Kontrollparametern eines Herstellungsverfahrens für Bauelemente
EP3688529
Art B1
13. Dezember 2023
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3688529
- Aktenzeichen
- EP18759092
- Anmeldetag
- 22. August 2018
- Veröffentlichung
- 13. Dezember 2023
- Erteilung
- 13. Dezember 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Peters, John Antoine
Veldhoven, Niederlande
167
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11
Fachgebiete
1
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-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven