Mehrzellendetektor für Geladene Teilchen

EP3688786 Art A1 5. August 2020

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3688786
Aktenzeichen
EP18779667
Anmeldetag
28. September 2018
Veröffentlichung
5. August 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/244H01L27/146
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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