Hochenergie-Atomlagenätzung

EP3692567 Art B1 7. August 2024

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3692567
Aktenzeichen
EP18864801
Anmeldetag
2. Oktober 2018
Veröffentlichung
7. August 2024
Erteilung
7. August 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3065H01L21/311H01L21/3213H01L21/67H01L29/66H01L29/78H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Lam Research Corporation
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Kontrus, Gerhard Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik Elektronik & Schaltungstechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Optik & Fototechnik
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